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隨著激光技術的不斷發(fā)展以及激光技術導入半導體行業(yè),激光已經(jīng)在半導體領域多道工序取得成功應用。廣為熟知的激光打標,使得精細的半導體芯片標識不再是個難題。激光切割半導體晶圓,一改傳統(tǒng)接觸式刀輪切割弊端,解決了諸如刀輪切割易崩邊、切割慢、易破壞表面結構等諸多問題。晶圓是制作半導體材料的...
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